真空隔絕閥適用於初步或者前端係統中。大部分應用於連接排氣係統，在這過程中有可能會汙染到腔體本身。
閥體特殊設計可以更好，而且當幫浦倒流時可以保護腔體本身。真空隔絕閥本身是使用焊式波紋管，將閥體縮小優化，提供更佳的傳導性。
氣動角閥，超高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
A1
B
C
PAV-UHV-CF-133
3/4”
41
41
52
147
PAV-UHV-CF-133-1
3/4”
55
55
52
162
PAV-UHV-CF-275
1-1 /2”
63
63
65
174
PAV-UHV-CF-275-1
1-1 /2”
67
67
65
178
氣動角閥，超高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
A1
B
C
PAV-UHV-CF-450
2-1 /2”
91
91
70
251
PAV-UHV-CF-450-1
2-1 /2”
86
86
70
246
PAV-UHV-CF-600
4”
113
113
89
342
PAV-UHV-CF-600-1
4”
118
118
89
348
氣動Y型閥，超高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
PIV-UHV-CF-133
3/4”
119
PIV-UHV-CF-275
1-1 /2”
133
氣動Y型閥，超高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
PIV-UHV-CF-450
2-1 /2”
216
PIV-UHV-CF-600
4”
355
氣動角閥，高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
A1
B
C
PAV-HV-CF-133
3/4”
41
41
52
147
PAV-HV-CF-133-1
3/4”
55
55
52
162
PAV-HV-CF-212
1”
50
50
52
154
PAV-HV-CF-212-1
1”
53
53
52
156
PAV-HV-CF-275
1-1 /2”
63
63
65
174
PAV-HV-CF-275-1
1-1 /2”
67
67
65
178
PAV-HV-CF-338
2”
72
72
67
234
PAV-HV-CF-338-1
2”
78
78
67
240
氣動角閥，高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
A1
B
C
PAV-HV-CF-450
2-1/2"
91
91
70
251
PAV-HV-CF-450-1
2-1/2"
86
86
70
246
PAV-HV-CF-600
4"
113
113
89
342
PAV-HV-CF-600-1
4"
118
118
89
348
PAV-HV-CF-800
6”
144
144
140
449
PAV-HV-CF-800-1
6”
165
165
140
469
氣動Y型閥，高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
PIV-HV-CF-133
3/4”
119
PIV-HV-CF-212
1”
107
PIV-HV-CF-275
1-1 /2”
133
PIV-HV-CF-338
2”
182
氣動Y型閥，高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
PIV-HV-CF-450
2-1 /2”
216
PIV-HV-CF-600
4”
355
PIV-HV-CF-800
6”
394
氣動角閥，高真空，KF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
A1
B
C
PAV-HV-KF-16
3/4”
40
40
52
147
PAV-HV-KF-16-1
3/4”
55
55
52
161
PAV-HV-KF-25
1”
50
50
52
154
PAV-HV-KF-25-1
1”
52
52
52
156
PAV-HV-KF-40
1-1 /2”
65
65
65
176
PAV-HV-KF-50
2”
70
70
67
232
PAV-HV-KF-50-1
2”
76
76
67
238
氣動角閥，高真空，ISO-K法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
A1
B
C
PAV-HV-ISOK-63
2-1 /2”
88
88
70
248
PAV-HV-ISOK-63-1
2-1 /2”
83
83
70
243
PAV-HV-ISOK-80
3”
90
90
82
284
PAV-HV-ISOK-80-1
3”
89
89
82
283
PAV-HV-ISOK-100
4”
108
108
89
338
PAV-HV-ISOK-100-1
4”
114
114
89
344
PAV-HV-ISOK-160
6”
138
138
140
442
PAV-HV-ISOK-160-1
6”
159
159
140
463
PAV-HV-ISOK-200
8”
178
178
140
648
PAV-HV-ISOK-200-1
8”
210
210
140
659
PAV-HV-ISOK-250
10”
208
208
202
668
PAV-HV-ISOK-250-1
10”
260
260
202
720
氣動Y型閥，高真空，KF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
PIV-HV-KF-16
3/4”
102
PIV-HV-KF-25
1”
107
PIV-HV-KF-40
1-1 /2”
130
PIV-HV-KF-50
2”
178
氣動Y型閥，高真空，ISO-K法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
PIV-HV-ISOK-63
2-1 /2”
209
PIV-HV-ISOK-80
3”
268
PIV-HV-ISOK-100
4”
345
PIV-HV-ISOK-160
6”
381
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氣動真空隔絕閥
